오토포커스, 난반사 제거 두가지 기능(링 제거 기능, 헐레이션 제거 기능) 포함할 것, 최대 100,000×100,000 pixel 2D 화상 연결, , 자동 카운트, 면적계측 기능, 결정입도 해석, CSV 저장이 가능할 것, X,Y축 스테이즈 가동범위가 300mm x 300mm 이상일 것, 2차원 배열 구조를 갖는 나노 단차 구조체의 pitch 크기가 10, 20, 50, 100, 200, 300㎛ 인 실리콘 기판위에 형성된 공인인증된 배율교정 표준물질 포함할 것
나노구조체 표준물질 표면 오염도 분석 평가, 300mm 웨이퍼형 표준물질 내 부착 시편의 수평 정도 분석