FE-SEM 분석 시 전도성이 없는 시료의 관찰을 위해 코팅을 하기 위한 장치 고분해능 관찰을 위해 고진공 코팅이 가능한 장치일 것 고진공 환경에서 아르곤을 주입하여 산화 반응 없이 고품질 전도성 금속 박막 형성이 가능 시료 표면의 코팅 두께 모니터링 가능
고진공 메탈 증착
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