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소재부품기술개발사업(20007164)_액체 파티클 측정시스탬 구매/설치

(주)동진쎄미켐  ·  계획 게시 2020-04-17  ·  발주계획번호 R20DD10209103
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발주계획 정보
발주예정
2020년 5월
사업금액(합계)
1.7억원 (169,300,000원)
계약방법
일반경쟁
조달방법
중앙조달
사업유형
해당없음
품명
액체검사기
관할구분
기타기관
계획 변경일
2023-10-26
총괄기관
한국산업기술평가관리원
담당
반도체재료사업본부 · 김정식
연락처
***-****-****
규격 · 수량 · 비고
수량 (단위: SET)
1
규격
측정 액체 파티클 size : 0.1, 0.15, 0.2, 0.3, 0.5um
용도
포토레지스트 용액 파티클 측정
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