진공도: Base Pressure(Torr) : < 3.0x10E-7\n온도 편차: Temp. Control Tolerance : ≤ 2℃\n ≤ 1℃(Normal), ≤ 2℃(Guarantee)\n가열 온도: 최대 650℃\nTrap: 냉매 Free, 물리적 Trap 적용\n쉴드: 챔버 오염 방지용 쉴드 적용\n안전 장치: 쿼츠 튜브 응력(열팽창) 최소화 기술 적용
유기 전구체 정제 작업
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