P150D-TD-PC-H, 쿼츠 튜브 150mm, 최대 공정 온도 850℃, Dry pump - 6" TMP 조합, 냉매 Free 물리 방식 Trap 적용, 장비 제어용 PC Softwater 포함
고온과 고진공 분위기에서 불순물이 포함된 무기물을 승화 또는 기화시켜 타겟이 되는 재료를 지정된 위치에 쌓이게 하여 이를 채집함으로써 무기물의 불순물을 제거
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