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최대 8인치 (200mm) 까지 지원될 것
온도 제어 범위: -40℃ ~ +150℃
Auto Contact, Auto Alignment, Auto Chuck 기능이 통합되어, 작업자의 개입 없이 고정밀 반복 측정이 가능할 것
±0.01° 이내
고해상도 카메라 및 auto-alignment 기능을 탑재할 것
실리콘 및 기타 반도체 웨이퍼의 전기적 특성 측정
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