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온도 가변(-40~+150도) 환경에서의 실리콘 기반 반도체 센서 전기적 특성 측정을 위한 E-chuck 기반 고온 프로브스테이션. Z축 수동 이동식, 고해상도 광학 카메라 포함, 수동 현미경 포커스 및 정전척 기반 시편 고정 가능.
CMS 초고속 타이밍 검출기를 위한 실리콘 기반 반도체 센서의 전기적 특성 측정
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