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TEOS Gas Cabinet은 액체 상태의 TEOS(C₈H₂₀O₄Si)를 Integrated LDS(Liquid Delivery System)를 사용해 정확한 유량으로 공급하고, 기화기(Vaporizer)를 통해 가스 형태로 전환해서 PE-CVD based SiO2(산화막) 증착공정 챔버로 TEOS 가스를 공급하는 장치임.
TEOS 가스 케비넷 공급장치
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