대면적 기판 미세회로 형성 노광기(DI) [Fine Pitch Direct Imaging exposure system for Large Size Panel] — 한국공학대학교 산학협력단 2026년 10월 발주계획 (포토레지스트노광기)

아직 공고 전입니다. 발주예정 시기는 2026년 10월 이며,
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발주예정

2026년 10월

사업금액(합계)

40억원 (4,000,000,000원)

계약방법

일반경쟁

조달방법

자체조달

품명

포토레지스트노광기

공사기간

202712

관할구분

기타기관

계획 변경일

2026-10-27

담당

경영지원팀 · 이상윤

연락처

031-8041-0896

사전규격번호

R26BD00291142

수량 (단위: EA)

장비방식

포토마스크를 사용하지 않는 Direct Imaging(DI) 방식

노광방식

DMD 또는 동등 이상의 디지털 광변조 방식

용도

교육 및 연구용

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