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10⁻⁷ Torr급 진공챔버, H₂ Plasma Source, RGA, Faraday Cup, 통합제어시스템, 10시간 연속운전 및 반복평가 재현성 검증
반도체용 시료를 수소 라디칼/플라스마 환경에 노출하여 수명 및 내구도를 검사하는 장비
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