규격서 참조
반도체 파라미터 분석 모듈은 반도체 소재 및 소자의 전기적 특성을 측정하는 메인 시스템에 (추가로) 장착하는 측정 모듈로, 전류나 전압을 인가하고 그에 따른 응답 전류 및 전압을 커스터마이즈하여 정밀하게 측정하는 데 사용됨.
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