2026년 실험실습기자재(고가) 구매(나노입자 원자층 코팅 시스템 1종 1점) — 경상국립대학교 2026년 04월 발주계획 (웨이퍼증착적층기)

발주예정

2026년 4월

사업금액(합계)

2.6억원 (258,000,000원)

계약방법

일반경쟁

조달방법

중앙조달

사업유형

해당없음

품명

웨이퍼증착적층기

관할구분

교육기관

담당

공과대학 · 김우리

연락처

055-772-1608

사전규격번호

R26BD00222119

HWP 4.세라믹공학전공_(고가)물품구매규격서_나노입자원자층코팅시스템_김세윤(조달청 송부용).hwp 77KB

HWP 제안요청서[웨이퍼증착적층기(나노입자 원자층 코팅 시스템)].hwp 86KB

규격

4종 전구체·다양한 반응가스를 이용해 2~6인치 웨이퍼 및 파우더(최대 1L)에 나노 박막을 증착할 수 있는 Thermal ALD 복합 코팅 시스템 (최대 450℃, 1 set)

용도

실험실습기자재

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