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반도체 공정 장비용 AI 기반 APC(자동 압력제어) 밸브 개발

주식회사 다산이엔지  ·  계획 게시 2025-11-13  ·  발주계획번호 R25DD20436815
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발주계획 정보
발주예정
2025년 11월
사업금액(합계)
51,000,000원
계약방법
일반경쟁
조달방법
자체조달
사업유형
해당없음
품명
미립자계수기
관할구분
기타기관
담당
연구소 · 봉선종
연락처
070-4237-9851
규격 · 수량 · 비고
규격
8 channels: 0.1,0.15,0.2,0.25 0.3 0.5, 1.0, 5.0 um
용도
반도체 공정 밸브의 O-ring 파티클 계수기
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