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200mm 클러스터 타입 플라즈마 원자층 증착 시스템

나노종합기술원  ·  계획 게시 2025-11-05  ·  발주계획번호 R25DD20427623
연결된 입찰공고
200mm 클러스터 타입 플라즈마 원자층 증착 시스템
공고번호 R25BK01145130 · 일반공고 · 마감 2025-11-20
공고 상세
발주계획 정보
발주예정
2025년 11월
사업금액(합계)
33.7억원 (3,368,640,000원)
계약방법
제한경쟁
조달방법
자체조달
사업유형
해당없음
품명
웨이퍼증착적층기
관할구분
기타기관
담당
재무회계실 · 이광연
연락처
042-366-2021
규격 · 수량 · 비고
규격
200mm Cluster-type PEALD
용도
반도체 증착 공정
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