1) 터보펌프를 이용하여 최대 10-6 torr의 진공도를 만들 수 있어야 한다. 2) 길이 측정에 대한 공인된 KOLAS 인증을 받은 장비여야 한다. 3) 키보드와 마우스를 이용하여 시료의 위치변경, 이미지의 포커싱과 같은 주요작업이 가능하며 스테이지 X,Y,T축은 키보드와 마우스를 이용하여 움직여야 한다.
전자현미경은 미세 시료의 폭, 길이, 각도 등을 μm 이하 단위로 정밀 측정할 수 있는 장비로, 최대 150,000배까지 관찰 가능하며 X·Y·T축 자동 이동 기능으로 시료를 마우스로 쉽게 이동할 수 있다. 비금속 시료 관찰을 위한 금속박막 코팅 장비와, 성분 분석이 가능한 내부 장착형 EDS 검출기를 포함해야 한다.