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Cu Spin Flash Etching System

재단법인 한국나노기술원  ·  계획 게시 2025-09-03  ·  발주계획번호 R25DD20371858
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발주계획 정보
발주예정
2025년 9월
계약방법
제한경쟁
조달방법
자체조달
사업유형
해당없음
품명
웨이퍼식각기
관할구분
기타공공기관
담당
경영지원실 · 홍성민
연락처
031-546-6241
규격 · 수량 · 비고
규격
상세규격서 참조
용도
메탈 박막의 일부분을 선택적으로 제거 에칭 공정에 사용
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