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금속 및 유기화합물을 고진공에서 증착하여 양질의 OLED, Solar-cell, 유기 반도체 소자의 전극, 절연층, 유기 반도체 액티브 레이어 제조, OFET 및 OECT 소자의 소스/드레인 전극, 텍스타일 기반 유연 유기 소자등 다양한 응용 분야에 대한 소자를 제작하기 위한 설비임. 6 인치 x 6 인치 Sample (Wafer & Glass) 까지 증착이 가능하여 대면적 소자제작이 가능하여야 하며 추후 글로브 박스와 일체형으로 구성하여 수분 및 산소가 1 ppm이하로 제어된 환경 내에서 전처리 과정 및 증착 과정, 후처리 과정을 동시에 진행함으로써 고효율 소자 제작 및 다양한 공정 개발이 가능한 장비