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전남테크노파크 「이온빔 스퍼터 시스템 성능개선」

재단법인전남테크노파크  ·  계획 게시 2025-07-21  ·  발주계획번호 R25DD20332863
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발주계획 정보
발주예정
2025년 7월
사업금액(합계)
2억원 (199,513,500원)
계약방법
일반경쟁
조달방법
중앙조달
사업유형
해당없음
품명
진공증착기
관할구분
기타기관
담당
행정지원본부 · 조경호
연락처
061-729-2641

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규격 · 수량 · 비고
규격
구매규격서 참조
용도
마이크로 응용 고성능 레이저 시스템용 광학 부품 제조 및 반도체 분야의 고품질 박막 uniformity 웨이퍼 제조
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