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탄소중립산업핵심기술개발(R&D)

(주)원익머트리얼즈  ·  계획 게시 2024-09-25  ·  발주계획번호 R24DD10404073
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발주계획 정보
발주예정
2024년 10월
사업금액(합계)
10억원 (1,000,000,000원)
계약방법
일반경쟁
조달방법
자체조달
사업유형
해당없음
품명
웨이퍼식각기
관할구분
기타기관
계획 변경일
2024-10-08
총괄기관
한국산업기술기획평가원
담당
구매본부 구매2팀 · 김상구
연락처
***-****-****
규격 · 수량 · 비고
수량 (단위: 시스템)
1
규격
300mm CCP type plasma system
용도
플라즈마 이용 반도체 회로패턴 형성 장비
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