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(동의대학교산학협력단) 진공 플라즈마 표면처리 식각기

동의대학교 산학협력단  ·  계획 게시 2024-09-11  ·  발주계획번호 R24DD10394944
연결된 입찰공고
(동의대학교산학협력단) 진공 플라즈마 표면처리 식각기
공고번호 20240917146 · 일반공고
공고 상세
(동의대학교산학협력단) 진공 플라즈마 표면처리 식각기
공고번호 20241012484 · 일반공고
공고 상세
발주계획 정보
발주예정
2024년 9월
사업금액(합계)
29,000,000원
계약방법
일반경쟁
조달방법
자체조달
사업유형
해당없음
품명
표면처리기
관할구분
기타기관
계획 변경일
2024-10-14
총괄기관
동의대학교
담당
동의대학교 산학협력단 · 서지웅
연락처
051-890-2402
규격 · 수량 · 비고
수량 (단위: 대)
1
규격
프로세스 챔버, 제너레이터, 가스라인 패키지, 진공 및 펌핑 패키지, 프로세스 컨트롤러 등
용도
반도체 소자에서 표면을 cleaning, Pattern을 구현
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