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디스플레이 LTPS 절연막 식각공정용 150이하의 저온난화지수를 지니는 F-기반 PFC 대체 가스 개발

한국기술교육대학교산학협력단  ·  계획 게시 2024-05-02  ·  발주계획번호 R24DD10259541
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발주계획 정보
발주예정
2024년 5월
사업금액(합계)
29,700,000원
계약방법
제한경쟁
조달방법
자체조달
사업유형
해당없음
품명
기체크로마토그래프
관할구분
기타기관
계획 변경일
2024-05-02
담당
산학협력단 · 안나
연락처
041-860-4826
규격 · 수량 · 비고
수량 (단위: set)
1
규격
헬륨 방전 이온화 검출기
용도
연구 및 실험
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