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EUV 광학계 평가를 위한 단색광 분리용 모듈

한국기초과학지원연구원  ·  계획 게시 2023-09-26  ·  발주계획번호 R23DD10409667
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발주계획 정보
발주예정
2023년 9월
사업금액(합계)
88,000,000원
계약방법
수의계약
조달방법
자체조달
사업유형
해당없음
품명
실험실용공급기기
관할구분
기타기관
계획 변경일
2023-09-26
담당
연구장비개발부 · 최명철
연락처
043-240-5124
규격 · 수량 · 비고
수량 (단위: SET)
1
규격
EUV 광학계 평가를 위한 단색광 분리용 모듈
용도
연구 및 실험용
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