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집속이온빔[Focused Ion Beam]

서울대학교 연구소 응용물리연구소  ·  계획 게시 2023-06-29  ·  발주계획번호 R23DD10319838
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발주계획 정보
발주예정
2023년 7월
사업금액(합계)
10.1억원 (1,010,000,000원)
달러 환산액
$785,314
계약방법
일반경쟁
조달방법
자체조달
사업유형
신규
품명
주사전자현미경
공사기간
202307
관할구분
국가기관
계획 변경일
2023-10-26
담당
클린룸 · 강슬지
연락처
02-882-8515
규격 · 수량 · 비고
수량 (단위: system)
1
Electron Beam Resolution
0.6 nm at 30 keV & 0.7 nm at 1 keV or less
Ion Beam Resolution
4 nm at 30 keV or better
Automation TEM sample preparation software includes
-
용도
학술연구용
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