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EUV 블랭크마스크 Interferometer

한국세라믹기술원  ·  계획 게시 2022-11-03  ·  발주계획번호 R22DD10516174
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발주계획 정보
발주예정
2022년 11월
사업금액(합계)
49억원 (4,899,400,000원)
계약방법
일반경쟁
조달방법
중앙조달
사업유형
해당없음
품명
레이저측정기
관할구분
준정부기관
계획 변경일
2023-10-26
담당
테스트베드팀 · 박성진
연락처
031-645-1309
규격 · 수량 · 비고
수량 (단위: set)
1
규격
일반사양서 참조
용도
연구 등
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