발주계획 목록
물품 공고 게시됨

절연막/실리콘 식각 시스템

재단법인 한국나노기술원  ·  계획 게시 2021-04-06  ·  발주계획번호 R21DD10217986
연결된 입찰공고
절연막/실리콘 식각 시스템
공고번호 20210427914 · 일반공고 · 마감 2021-04-27
공고 상세
발주계획 정보
발주예정
2021년 4월
계약방법
일반경쟁
조달방법
자체조달
사업유형
해당없음
품명
웨이퍼식각기
관할구분
기타공공기관
계획 변경일
2023-10-26
담당
경영지원실 · 홍성민
연락처
031-546-6425
규격 · 수량 · 비고
수량 (단위: SET)
1
규격
상세규격서 참조
용도
시스템 반도체 BEOL 공정에 사용
비고
실수요부서: 임웅선 선임(031-546-6235)
재단법인 한국나노기술원의 다른 발주계획
금속막 원자층 증착 장비 (Metal Atomic Layer Deposition) 1대 구매 (내자)
물품 발주 2026.09
고정밀 대구경 수동 다이 투 웨이퍼 본더(외자) 1대 구매 [Metal Atomic Layer Deposition 1SET]
외자 발주 2026.10
고정밀 대구경 수동 다이 투 웨이퍼 본더 (외자) 1대 구매
물품 발주 2026.09 삭제된 발주계획
초전도 양자 컴퓨터 회로 설계 툴 구독
물품 발주 2026.09
광대역폭 오실로스코프 구매
물품 발주 2026.09
Flat Type ESC(Electrostatic Chuck) 등 2종 교체 및 설치
물품 발주 2026.08
이 사업, 공고가 뜨면 놓치지 마세요
진행 중 공고 검색과 AI 투찰가 예측은 대시보드에서 이용할 수 있습니다.
공고 대시보드 바로가기