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텅스텐/플라즈마 화학기상증착장치 구매

재단법인 한국나노기술원  ·  계획 게시 2020-06-05  ·  발주계획번호 R20DD10256986
연결된 입찰공고
텅스텐/플라즈마 화학기상증착장치 1식 구매
공고번호 20200640449 · 일반공고 · 마감 2020-07-07
공고 상세
발주계획 정보
발주예정
2020년 6월
사업금액(합계)
21.4억원 (2,145,000,000원)
계약방법
제한경쟁
조달방법
자체조달
사업유형
해당없음
품명
웨이퍼증착적층기
관할구분
기타공공기관
계획 변경일
2023-10-26
담당
한국나노기술원 시스템반도체공정실 · 이동근 선임연구원
연락처
031-546-6322
규격 · 수량 · 비고
수량 (단위: SET)
1
규격
첨부 상세규격서 참조
용도
시스템반도체 BEOL공정 중 Al배선과 Cu배선공정용도
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